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选择HJF08海角论坛IOS机真空泵应当注意什么事项呢? |
发布时间:2014-01-08 浏览:5939 次 |
1、真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。 如:HJF08海角论坛IOS机要求1×10-5mmHg的真空度,选用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg。通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。
如:扩散泵为10-3~10-7mmHg,在这样宽压强范围内,泵的抽速随压强而变化,其稳定的工作压强范围为5×10-4~5×10-6mmHg。因而,泵的工作点应该选在这个范围之内,而不能让它在10-8mmHg下长期工作。又如钛升华泵可以在10-2mmHg下工作,但其工作压强应小于1×10-5mmHg为好。
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